1 | Presión máxima de trabajo 20,6 Mpa. |
2 | máx.temperatura de trabajo 204 ℃ (ambiente de alta temperatura hasta 454 ℃, en este momento el material de sellado se reemplaza con grafito expandido) |
3 | Sistema de filtro Se aplican partículas contaminantes, gases, líquidos. |
4 | Precisión del filtro de filtro sinterizado de metalurgia de polvo de acero inoxidable 2 μm ~ 40 μm |
5 | Flujo de filtro 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.Pensilvania |
6 | El filtro se puede cambiar. |
Características del producto de filtro
1 | Amplio rango de aplicación, rango de caudal de 15 a 300SL/min. |
2 | Tiene buena compatibilidad con la mayoría de los gases de proceso de semiconductores de alta pureza. |
3 | La capacidad de filtración de 3 nanopartículas mantiene una alta eficiencia de flujo y una caída de presión ultrapequeña. |
4 | La superficie electropulida 5Ra puede prevenir la contaminación interna. |
5 | Hornee con nitrógeno caliente después de agua desionizada para cumplir con los estándares del proceso de semiconductores. |
6 | Entorno de fabricación, limpieza y embalaje de taller aséptico libre de polvo de 1000 niveles. |
7 | Prueba de fugas de helio al 100 %. |
Entrada | Salida | |
1 | Racor de tubo de 1/8″ | Racor de tubo de 1/8″ |
2 | Racor de tubo de 1/4″ | Racor de tubo de 1/4″ |
3 | Racor de tubo de 3/8″ | Racor de tubo de 3/8″ |
4 | Racor de tubo de 1/2″ | Racor de tubo de 1/2″ |
5 | Racor de tubo de 6MM | Racor de tubo de 6MM |
6 | Racor de tubo de 8MM | Racor de tubo de 8MM |
7 | Racor de tubo de 10MM | Racor de tubo de 10MM |
8 | Racor de tubo de 12MM | Racor de tubo de 12MM |
9 | 1/8″ hembra NPT | 1/8″ hembra NPT |
10 | 1/4″ hembra NPT | 1/4″ hembra NPT |
11 | NPT macho de 1/4″ | NPT macho de 1/4″ |
12 | NPT macho de 3/8″ | NPT macho de 3/8″ |
13 | NPT macho de 1/2″ | NPT macho de 1/2″ |
Parámetros de rendimiento del producto del filtro
1 | Precisión de filtrado | ≥0.0025μm | |
2 | Eficiencia de filtración | Tasa de eliminación99.99999%≥0.0025μm | |
3 | caudal nominal | 15 l/min. | |
4 | 60 l/min. | ||
5 | 120 l/min. | ||
6 | 200L/minuto | ||
7 | 300 l/min. | ||
8 | Composición del filtro | Elemento de filtro | 316L/PTFE |
9 | alojamiento | acero inoxidable 316L | |
10 | Las condiciones de trabajo | Presión máxima de entrada | 21Mpa (310 kgf/cm2) |
11 | Presión diferencial máxima | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Temperatura máxima de funcionamiento | 430 ℃ (gas inerte) | |
13 | Tasa de fuga de helio | 1×10-9 atm.cc/seg | |
14 | Acabado de superficie | ≤Ra 5μin |