El uso de gases en la industria de semiconductores se remonta a principios de la década de 1950 a 1960. Durante el proceso de fabricación de semiconductores, los gases se utilizan principalmente para limpiar y proteger los materiales de semiconductores para garantizar su pureza y calidad. Entre los gases más utilizados se encuentran nitrógeno e hidrógeno.
A medida que la tecnología de semiconductores se desarrolló y los procesos de fabricación continuaron mejorando, la demanda de gases aumentó. En 1970, el desarrollo adicional de la tecnología de fabricación de semiconductores, la aplicación de gases en procesos clave, como el grabado y la deposición de películas delgadas, aumentan gradualmente, y los gases de fluoruro (por ejemplo, SF6) y el oxígeno se convirtieron en los gases de grabado y deposición de uso común. 1980 vio un aumento adicional en la demanda de gases con el desarrollo de circuitos integrados y el aumento de la demanda de ellos. El hidrógeno se usó ampliamente en el proceso de fabricación, incluido el recocido de hidrógeno y la deposición de vapor de hidrógeno. Y desde 1990 hasta el presente, la demanda de gases de alta pureza y gases específicos ha aumentado a medida que los tamaños de dispositivos semiconductores han seguido reduciéndose y se han introducido nuevos procesos. Por ejemplo, la aplicación de litografía ultravioleta extrema (EUV) requiere el uso de gases de alta pureza, como el nitrógeno y el hidrógeno.
El gas semiconductor continúa aumentando con el desarrollo de productos relacionados impulsados por cada vez más productos, mientras que el gas también pertenece a la fuente de peligro, por lo que los productos utilizados para la descompresión de gas, los productos de detección de gases y la prevención de productos de fuga de gas han surgido, como reguladores de presión, válvulas de gas, fomentos a presión de gas, detectores de fugas de gases, etc., etc., y sus redes son las siguientes: siguen: siguen a los reguladores de presión:
Reguladores de presión: los reguladores de presión son dispositivos utilizados para controlar la presión del gas. Por lo general, consisten en una válvula reguladora y un sensor de presión. Los reguladores de presión toman una entrada de gas de alta presión y estabilizan la presión del gas de salida ajustando la válvula para cumplir con los requisitos de aplicación específicos. Los reguladores de presión se utilizan ampliamente en áreas como la industria, la fabricación y los laboratorios, así como en la industria de los semiconductores, entre otros, para garantizar la estabilidad y la seguridad del suministro de gas.
Válvulas de gas: las válvulas de gas se utilizan para controlar el flujo de gases y para cerrar los pasajes de gas. Por lo general, tienen una función de encendido/apagado que se abre o cierra el flujo de gas. Existen varios tipos de válvulas de gas, incluidas válvulas manuales, válvulas eléctricas y válvulas neumáticas. Se usan ampliamente en los sistemas de gas para controlar el flujo, la presión y la velocidad de flujo de los gases.
Medidores de presión de gas: los medidores de presión de gas se utilizan para medir el nivel de presión de un gas. Por lo general, se instalan en ubicaciones críticas en sistemas de gas para monitorear los cambios de presión y garantizar que estén dentro de los límites seguros. Los medidores de presión de gas se utilizan ampliamente en la industria, la fabricación y los laboratorios, y la industria de los semiconductores también ha estado involucrada.
Detectores de fugas de gas: los detectores de fugas de gas se utilizan para detectar fugas en los sistemas de gas. Ellos detectanLa presencia de fugas de gas y suena una alarma para que se puedan tomar medidas oportunas para evitar accidentes de fugas. Los detectores de fuga de gas se utilizan ampliamente en aplicaciones industriales, químicas, de petróleo y gas, y la industria de los semiconductores también ha estado involucrado.
Tiempo de publicación: Feb-20-2024