El proceso de producción de gases especializados electrónicos incluye varios procesos, como síntesis, purificación, llenado, análisis y pruebas, mezcla y proporción. Para cumplir con los requisitos de fabricación de semiconductores aguas abajo para el contenido de pureza e impureza, el proceso de purificación es muy importante. Dependiendo de la composición del gas de síntesis aguas arriba o gas crudo, se realiza destilación a baja temperatura o purificación de etapas múltiples.
Altos requisitos de limpieza
El proceso de preparación de los gases electrónicos electrónicos se puede dividir en dos bloques principales de preparación y purificación de síntesis aguas arriba, que pertenece al proceso de producción química. El tamaño de la tubería de producción es grande, y no hay un requisito especial de nivel de limpieza. Después de la purificación posterior, el producto se llena con gas y se mezcla para su preparación. La tubería de producción es pequeña y tiene requisitos de nivel de limpieza. Necesita cumplir con la especificación estándar del proceso de fabricación de semiconductores.
Requisitos de sellado altos
Debido a su actividad química, los gases especializados electrónicos también imponen altas demandas sobre los materiales y el sellado del sistema de proceso de producción. Al igual que los requisitos de la fabricación de semiconductores, evita la fuga de interfaz causada por la introducción de impurezas o corrosión de gases especiales. El sistema también se puede utilizar para evitar la introducción de impurezas o la fuga de interfaz causada por la corrosión de gases especiales.
Requisitos de estabilidad de alta calidad
La calidad de los gases especializados electrónicos incluye una serie de indicadores, como el contenido de partículas de pureza e impureza. Cualquier cambio en los indicadores afectará los resultados del proceso de fabricación de semiconductores aguas abajo. Por lo tanto, para garantizar la consistencia de los indicadores electrónicos de productos de gas especiales, el sistema de proceso de preparación para controlar la estabilidad de los indicadores también es muy importante.
Debido a la actividad química y los requisitos de calidad de EGP, el sistema de producción para la preparación de EGP, especialmente el sistema de purificación posterior, debe cumplir con los requisitos de materiales de alta pureza, alta sellado, alta limpieza y consistencia de alta calidad, y la construcción de componentes de ingeniería debe cumplir con los estándares de la industria de fabricación de semiconductores.
Lo que comúnmente nos referimos como "alta pureza" es teóricamente la definición de la pureza de una sustancia, como gases de alta pureza, productos químicos de alta pureza, etc. Los sistemas de procesos o los componentes del sistema de procesos que se aplican a las sustancias de alta pureza también se denominan alta pureza, como los sistemas de alta pureza y las válvulas de altaidad. Los sistemas electrónicos de preparación de gas especializado requieren accesorios de aplicación de alta pureza, válvulas y otros componentes de fluidos, es decir, accesorios y válvulas que se procesan con materiales de alta pureza y procesos de fabricación limpios, y están estructurados para una fácil purga y limpieza. Con alto rendimiento de sellado. Estos componentes de fluidos están diseñados para cumplir con la ruta de flujo de procesos de la aplicación, utilizando los requisitos de ingeniería y construcción de la industria de semiconductores.
Conexiones de tuberías de alta pureza
Las conexiones de sello de la junta de la junta metálica de la VCR y las conexiones de soldadura por tope de la guía automática se utilizan ampliamente en los requisitos exigentes del proceso de pureza del sistema de fluidos debido a la capacidad de cumplir con la transición suave de la ruta de flujo en la conexión, sin zona de estancamiento y un alto rendimiento de sellado. Las conexiones de VCR forman un sello superficial estrecha al extruir una justa de metal relativamente suave. La conexión repetible y consistente y el rendimiento de sellado se aseguran cada vez que se retira y reemplaza la junta deformada.
Los tubos se soldan utilizando un sistema automático de soldadura orbital. El tubo está protegido por gas de alta pureza por dentro y por fuera. El electrodo de tungsteno gira a lo largo de la órbita para soldadura de alta calidad. La soldadura orbital totalmente automatizada derrite la tubería sin introducir otros materiales, es difícil lograr una soldadura de alta calidad controlando repetidamente la tubería de paredes delgadas con soldadura manual.
Conexión de sello de la junta de metal de videojuegos
Conexión automática de soldadura a tope orbital de tuberías
Válvulas de alta pureza
La actividad química de los gases especializados electrónicos inflamables, explosivos, corrosivos y tóxicos impone altas demandas sobre el sellado de la válvula. Para mejorar la confiabilidad del sellado, el requisito de válvulas sin empaquetación para evitar fugas externas, es decir, el funcionamiento de cambio del vástago de la válvula y el cuerpo de la válvula entre el sello con fuelles metálicos o diafragma de metal, para eliminar las fugas debido a la deformación del sello y el sello de empaquetado. Las válvulas selladas y selladas por diafragma se usan comúnmente en sistemas de procesos para aplicaciones de alta pureza debido a la mayor confiabilidad de los sellos y el reemplazo de limpieza y purga más fácil de las válvulas internas.
Las válvulas selladas por fuelles son una construcción de válvulas de aguja sin empaquetado que permite la apertura lenta y la regulación de flujo. Utilizado para el relleno de gas especializado de gas con requisitos de flujo de seguridad o en botellas de fuente precursores con altos requisitos de seguridad. Los sellos de la punta del vástago totalmente metálico permiten temperaturas de funcionamiento extremadamente bajas y se utilizan para la licuefacción criogénica de gases especializados electrónicos en tanques de productos terminados después de la destilación criogénica para la tubería.
La válvula de sello de diafragma sin resorte es una válvula abierta de 1/4 ″ para usar como válvula de conmutación controlada automáticamente en la tubería de entrega. Se usan comúnmente en aplicaciones ultra alta presión y alta pureza debido a su simple ruta de flujo interno, un pequeño volumen interno y facilidad de purga y reemplazo.
Las válvulas selladas por diafragma que se cierran a través de la punta del tallo pueden abrirse lentamente y usarse a presiones operativas más altas que las válvulas no selladas por diafragma. Se usan ampliamente en el llenado de gas especializado de alta presión o botellas de fuente precursores.
La válvula de fuelle de sello secundaria no solo se puede usar en sistemas de proceso de temperatura ultra bajo a -200 grados, sino que también evita la fuga de medios peligrosos en la atmósfera. Por lo general, se usa para gases electrónicos electrónicos muy peligrosos, como el sistema de llenado de silano.
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Tiempo de publicación: julio-19-2023