La tecnología de tuberías de gases de alta pureza es una parte importante del sistema de suministro de gas de alta pureza, que es la tecnología clave para ofrecer el gas requerido de alta pureza hasta el punto de uso y aún mantener la calidad calificada; La tecnología de tuberías de gas de alta pureza incluye el diseño correcto del sistema, la selección de accesorios y accesorios, construcción e instalación, y pruebas. En los últimos años, los requisitos cada vez más estrictos sobre el contenido de pureza e impureza de los gases de alta pureza en la producción de productos microelectrónicos representados por circuitos integrados a gran escala han hecho que la tecnología de tuberías de gases de alta pureza sea cada vez más preocupado y enfatizado. La siguiente es una breve descripción de las tuberías de gases de alta pureza de la selección de materialesof construcción, así como aceptación y gestión diaria.
Tipos de gases comunes
Clasificación de gases comunes en la industria electrónica：
Gases comunes（Gas a granel）: hidrógeno (H2), nitrógeno (n2), oxígeno (O2), argon (un2), etc.
Gases especialesson sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 SiHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Los tipos de gases especiales generalmente se pueden clasificar como corrosivogas, tóxicogas, inflamablegas, combustiblegas, inertegas, etc. Los gases semiconductores comúnmente utilizados generalmente se clasifican de la siguiente manera.
(i) corrosivo / tóxicogas: Hcl, bf3, WF6, HBR, Sih2Cl2, NH3, Ph3, CL2, BCL3…etc.
(ii) Inflamabilidadgas: H2, CH4, Sih4, Ph3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Pez3F, CO ... etc.
(iii) combustibilidadgas: O2, CL2, N2O, NF3… etc.
(iv) inertegas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, kr, él ... etc.
Muchos gases semiconductores son perjudiciales para el cuerpo humano. En particular, algunos de estos gases, como sih4 Combustión espontánea, siempre que una fuga reaccione violentamente con el oxígeno en el aire y comience a quemarse; y ceniza3Altamente tóxico, cualquier fuga leve puede causar el riesgo de la vida humana, se debe a estos peligros obvios, por lo que los requisitos para la seguridad del diseño del sistema son particularmente altos.
Alcance de la aplicación de gases
Como una importante materia prima básica de la industria moderna, los productos de gas se usan ampliamente, y una gran cantidad de gases comunes o gases especiales se usan en metalurgia, acero, petróleo, industria química, maquinaria, electrónica, vidrio, cerámica, materiales de construcción, construcción, procesamiento de alimentos, medicamentos y sectores médicos. La aplicación de gas tiene un impacto importante en la alta tecnología de estos campos en particular, y es su gas o gas de proceso de materia prima indispensable. Solo con las necesidades y la promoción de varios nuevos sectores industriales y ciencia y tecnología modernas, los productos de la industria del gas pueden desarrollarse mediante saltos y límites en términos de variedad, calidad y cantidad.
Aplicación de gas en microelectrónica y industria de semiconductores
El uso de gas siempre ha jugado un papel importante en el proceso de semiconductores, especialmente el proceso de semiconductores se ha utilizado ampliamente en diversas industrias, desde el tradicional ULSI, TFT-LCD hasta el actual industria microelectromecánica (MEMS), todas las cuales utilizan el llamado proceso de semiconductores como el proceso de fabricación de productos. La pureza del gas tiene un impacto decisivo en el rendimiento de los componentes y los rendimientos de los productos, y la seguridad del suministro de gas está relacionada con la salud del personal y la seguridad de las operaciones de la planta.
La importancia de las tuberías de alta pureza en el transporte de gases de alta pureza
En el proceso de material de acero inoxidable y fabricación de material, se pueden absorber aproximadamente 200 g de gas por tonelada. Después del procesamiento de acero inoxidable, no solo su superficie pegajosa con varios contaminantes, sino también en su red de metal también absorbió una cierta cantidad de gas. Cuando hay flujo de aire a través de la tubería, el metal absorbe esta parte del gas volverá al flujo de aire, contaminando el gas puro. Cuando el flujo de aire en el tubo es un flujo discontinuo, el tubo adsorbe el gas bajo presión, y cuando el flujo de aire deja de pasar, el gas adsorbido por el tubo forma una caída de presión para resolverse, y el gas resuelto también ingresa al gas puro en el tubo como impurezas. Al mismo tiempo, la adsorción y la resolución se repiten, de modo que el metal en la superficie interna del tubo también produce una cierta cantidad de polvo, y estas partículas de polvo de metal también contaminan el gas puro dentro del tubo. Esta característica del tubo es esencial para garantizar la pureza del gas transportado, lo que requiere no solo una suavidad muy alta de la superficie interna del tubo, sino también una alta resistencia al desgaste.
Cuando se usa el gas con un fuerte rendimiento corrosivo, se deben usar tuberías de acero inoxidable resistente a la corrosión para la tubería. De lo contrario, la tubería producirá manchas de corrosión en la superficie interna debido a la corrosión, y en casos graves, habrá una gran área de eliminación de metal o incluso perforación, que contaminará el gas puro a distribuir.
La conexión de las tuberías de transmisión y distribución de gases de alta pureza y alta limpieza de grandes caudales.
En principio, todos ellos están soldados, y los tubos utilizados deben no tener cambios en la organización cuando se aplica la soldadura. Los materiales con contenido de carbono demasiado alto están sujetos a la permeabilidad al aire de las partes soldadas cuando se soluciona, lo que hace que la penetración mutua de gases dentro y fuera de la tubería y destruya la pureza, la sequedad y la limpieza del gas transmitido, lo que resulta en la pérdida de todos nuestros esfuerzos.
En resumen, para el gas de alta pureza y la tubería de transmisión de gas especial, es necesario utilizar un tratamiento especial de tubos de acero inoxidable de alta pureza, para hacer que el sistema de tuberías de alta pureza (incluidas las tuberías, los accesorios, las válvulas, VMB, VMP) en la distribución de gases de alta pureza ocupa una misión vital.
Concepto general de tecnología limpia para tuberías de transmisión y distribución
La transmisión del cuerpo de gas altamente pura y limpia con tuberías significa que existen ciertos requisitos o controles para tres aspectos del gas que se transportan.
La pureza del gas: el contenido de la atmósfera de impureza en la pureza de GGAS: el contenido de la atmósfera de impurezas en el gas, generalmente expresado como un porcentaje de pureza de gas, como el 99.9999%, también expresada como la relación de volumen de contenido de atmósfera de impureza PPM, PPB, PPT.
Sequedad: la cantidad de rastreo de humedad en el gas, o la cantidad llamada humedad, generalmente expresada en términos de punto de rocío, como el punto de rocío de presión atmosférica -70. DO.
Limpieza: el número de partículas contaminantes contenidas en el gas, tamaño de partícula de µm, cuántas partículas/m3 expresar, para el aire comprimido, generalmente también expresado en términos de cuántos mg/m3 de residuos sólidos inevitables, que cubre el contenido de aceite.
Clasificación del tamaño de contaminante: las partículas de contaminantes, se refieren principalmente a la exploración de la tubería, el desgaste, la corrosión generada por las partículas metálicas, las partículas de hollín atmosféricas, así como los microorganismos, los fagos y las gotas de condensación de gases que contienen humedad
a) partículas grandes: tamaño de partícula por encima de 5 μm
b) partícula: diámetro de material entre 0.1 μm-5 μm
C) ultra micro partículas: tamaño de partícula inferior a 0,1 μm.
Para mejorar la aplicación de esta tecnología, para poder la comprensión perceptiva del tamaño de partícula y las unidades μm, se proporciona un conjunto de estado de partículas específico para referencia
La siguiente es una comparación de partículas específicas
| Nombre /tamaño de partícula (µm) | Nombre /tamaño de partícula (µm) | Nombre/ tamaño de partícula (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet en aerosol 1-12 |
| Combustible nuclear 0.01-0.1 | Pintar 0.1-6 | Ash volante 1-200 |
| Negro de carbono 0.01-0.3 | Leche en polvo 0.1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0.01-1 | Bacterias 0.3-30 | Polvo de cemento 5-100 |
| Fumo de cigarrillo 0.01-1 | Polvo de arena 0.5-5 | POLEN 10-15 |
| Silicona 0.02-0.1 | Pesticida 0.5-10 | Cabello humano 50-120 |
| Sal cristalizada 0.03-0.5 | Polvo de azufre concentrado 1-11 | Sea Sand 100-1200 |
Tiempo de publicación: jun-14-2022